基于DE-SVM的硅基壓阻式壓力傳感器溫度補償研究

摘要：針對硅基壓阻式壓力傳感器易受環境溫度影響的特點,提出了一種基于DE-SVM的硅基壓阻式壓力傳感器溫度補償方案。該方案主要由訓練數據預處理模塊、DE參數尋優模塊、SVM訓練模塊、數據采集模塊、測量數據預處理模塊及SVM校正等模塊組成,以SVM算法的非線性回歸功能為核心,通過DE算法優化SVM參數,經訓練后得到溫度校正模塊,模塊接收測量數據后輸出校正后的壓力值。實驗表明,對單個傳感器壓力值使用DE-SVM模型進行校正,最大誤差和均方誤差分別下降了93.87%和99.89%;在七塊硅基壓阻式壓力傳感器構成的多傳感器情況下,最大誤差和均方誤差分別下降了93.17%和99.27%,平均相對誤差由14.06%下降至1.20%;最后選取訓練數據不包含的溫度點使用所建立的模型進行測試,模型仍能夠較好地進行溫度補償。