摘要：采用Zemax光學設計軟件進行干涉模擬,建立傳統菲索干涉儀結構;對標準鏡調整和面形誤差對測量結果的影響做出模擬分析,得出對標準鏡引入傾斜將會帶來像差;分析了標準鏡前后表面面形誤差對測量結果的影響。
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