摘要：在工業應用中,需要對方形扁平無引腳封裝(Quad flat no-lead package,QFN)芯片表面劃痕實時準確檢測,提出了一種快速的芯片表面劃痕檢測定位方法.通過圖像分割算法獲取缺陷圖像,結合輪廓提取算法可以較好地實現芯片表面劃痕定位.同時,為了保證對芯片表面劃痕實時檢測,采用基于粒子群的Otsu多閾值算法進行圖像分割,不僅使得圖像中缺陷區域更加明顯,而且縮短了芯片表面劃痕檢測時間.與直接采用Otsu算法相比,芯片表面劃痕檢測時間由秒級縮短至毫秒級,提高了芯片質量檢測效率.該劃痕快速定位檢測方法對芯片檢測設備軟件系統開發與應用具有重要的參考價值.
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