基于凸殼理論圓域擬合的球面面型精度測量方法

摘要：針對干涉測量中采集到的波面數據是大量離散采樣點不易尋找單位圓用于波面擬合的問題,提出了一種凸殼理論圓域擬合的方法。方法對采集的波面數據尋找最小覆蓋圓,經歸一化后以圓Zernike為基底進行波面擬合。利用Matlab仿真分析算法的性能,對實測數據經過處理后與ZYGO測試數據進行對比分析得到面型PV值的絕對誤差為0.0047λ,RMS值的絕對誤差為0.0002λ。實驗表明算法可對采集的大量離散波面數據進行高效準確的Zernike波面擬合,為進一步光學元件面型像差的分析提供可靠依據。