背照式EMCCD圖像傳感器的研制

摘要：基于4英寸前照式576×288EMCCD晶圓，設(shè)計(jì)了背照式EMCCD器件結(jié)構(gòu)，給出了背照式集成制備工藝方案及工藝過(guò)程。對(duì)所制備的576×288背照式EMCCD器件進(jìn)行了性能測(cè)試，并完成了成像驗(yàn)證，峰值量子效率較前照式顯著提高。