圓柱型永磁體磁流變拋光頭設計及其參數優化

摘要：針對傳統加工技術存在表面損傷、加工效率低的問題,將極具前景的面接觸式超精密磁流變拋光技術應用到3C制造業中。對圓柱型永磁體磁流變拋光頭在加工過程中的拋光墊的形貌進行了研究分析,發現圓柱型永磁體磁流變拋光頭在加工過程中存在一種"環狀效應",利用"環狀效應"對圓柱型永磁體磁流變拋光頭進行了結構設計,并對其進行了設計理念分析;對圓柱型永磁體拋光頭在6061的鋁合金工件上進行了單因素拋光實驗,通過實驗獲得了最優參數。研究結果表明:該圓柱型永磁體磁流變拋光頭能夠實現環狀加工區域的高效光滑平坦化加工,工件表面粗糙度達到52 nm,材料去除率達9.1μm/min,大大提高了磁流變拋光的效率,為面形精度在微米級的超光滑平面的制造提供了一種高效的加工方法。