摘要：采用第一性原理計算方法對磷原子在金剛石(001)表面上的吸附和遷移行為進行了系統研究.結果表明:在全氫終止金剛石(001)表面上,磷原子不能夠穩定吸附.當氫終止表面上出現1個、2個活性位時,磷原子可以在活性位處穩定吸附,吸附能為2.8至4.5 eV.分波態密度分析表明:磷原子吸附后,仍然有未成對電子,保持化學活性,有利于后續沉積粒子的吸附.當氫終止表面上出現3個活性位時,磷原子可以在活性位處吸附,并且可以在活性位之間遷移.遷移激活能小于1.7 eV.綜上所述,磷原子在金剛石(001)表面上的吸附和遷移行為與表面上活性位的數量和分布密切相關.
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