四氟化硅生產工藝研究進展

摘要：四氟化硅作為生產多晶硅及其衍生物的原料,隨著電子工業的發展以及硅基產業的擴大,對于四氟化硅的需求量逐漸增加。對四氟化硅生產工藝的研究越來越引起人們的重視。詳細介紹了制備四氟化硅的4種方法,含硅源物質與含氟基團物質合成法、氟硅酸鹽熱解法、氟硅酸法、硫酸法,綜述了國內外制備四氟化硅的研究進展情況,并評述了各工藝的特點。就目前研究表明,四氟化硅制備工藝需向環保、節能、高收率方向發展。