基于聲表面波紙基微流器件研究

摘要：為了降低工藝要求和制作成本,提出了壓電基片上紙基微流器件制作方法。采用焊錫絲構(gòu)建微通道圖案,通過聚二甲基硅氧烷(PDMS)固化、剝離焊錫絲、填入棉線、棉線吸收未固化PDMS等工藝過程,將圖案轉(zhuǎn)印于紙基片,并貼合于128°YX-LiNbO3壓電基片上。實驗結(jié)果表明,電信號功率為27.3dBm時,在研制器件上實現(xiàn)淀粉顯色反應(yīng),驗證其微流分析功能。