基于COMSOL的聲表面波器件三維結構仿真

摘要：基于鈮酸鋰基底的聲表面波傳感器電極材料設計,采用COMSOLMultiphysics仿真分析軟件對聲表面波傳感器單對叉指進行三維建模,并進行固體力學和靜電學物理場的有限元仿真分析。結果表明,不同電極材料和厚度對其反對稱模態頻率、對稱模態頻率、導納特性曲線及阻抗特性曲線的影響較大,且通過改變電極材料的厚度有效抑制寄生諧振為進一步的研究提供了理論依據。