FIB-TOF-SIMS聯用技術在礦物學研究中的應用

摘要：基于聚焦離子束掃描電子顯微鏡的飛行時間二次離子質譜聯用技術同時具備了聚焦離子束高空間分辨率以及飛行時間二次離子質譜輕元素、同位素分析以及較低的元素檢出限的優勢。可以實現:掃描電鏡下原位分析H、Li、Be、B等輕元素;元素分布的納米級橫向空間分辨率;元素三維空間分布。能夠同時得到納米級礦物的形貌、元素組成以及元素空間分布信息,該技術在地學領域有廣闊的應用前景。