晶圓機械手PLC控制系統的設計與實現

摘要：針對于原半導體生產線在生產過程中晶圓傳遞機械臂定位不夠精確的問題,通過對機械臂進行力學分析,研究其運動軌跡,并對晶圓機械臂的運動軌跡進行了數學建模分析。并根據晶圓機械臂運動軌跡分析結果,引入插補算法減小累積誤差,并利用B&R 2003 PLC進行程序設計實現系統精準定位,通過實驗實際數據表明,誤差范圍較小,可實現精準定位功能。