無托槽隱形矯治微型測力系統的建立

摘要：目的建立無托槽隱形矯治微型測力實驗平臺，以測量矯治過程中牙齒的應力。方法開發基于硅襯底的應力傳感器芯片，隨后進行芯片減薄，并采用四點彎曲結構進行壓阻系數標定，使用超薄的柔性電路板封裝傳感器芯片，引出信號，搭建完整的隱形矯治應力測量實驗平臺。結果制造完成的應力傳感器芯片長7．0him、寬6．0mm、厚0．1mm，其上包括13個注入制造的單晶硅壓阻應力敏感單元和4個標定單元；設計制造了基于多路選擇電路的主測試電路板，搭建了完整的隱形矯治應力測量實驗平臺，通過壓阻阻值的測量計算出13個測量單元位置所在的應力。結論建立了無托槽隱形矯治微型測力系統的實驗平臺，為精確測量矯治過程中牙齒的局部應力提供了方法。