基于電路模擬的熱陰極電離真空計電參數校準裝置及方法

摘要：傳統熱陰極電離真空計的電參數校準中,必須將熱陰極電離真空規與熱陰極電離真空計連接并為其提供高真空環境,且校準周期普遍較長。針對該問題,提出一種等效模擬熱陰極電離真空規的方法,研制了新型熱陰極電離真空計電參數校準裝置。該裝置可單獨對熱陰極電離真空計的陰極電壓、柵極電壓、發射電流等電參數進行自動化校準,適用于無配套熱陰極電離真空規情況下的校準和現場校準。解決了傳統熱陰極電離真空計電參數校準裝置存在的問題,并為使用其他熱陰極電離源真空儀器的調試提供了新思路。