基于動態差壓法的分子流流導測量

摘要：提出一種基于動態差壓法測量固定流導元件流導的新方法。固定流導元件是以陽極多孔氧化鋁(AAO)為模板制作而成。在測量流導過程中,通過測量連接AAO固定流導元件兩端的容器的動態差壓變化關系,運用最小二乘法對實驗數據進行指數函數擬合,計算出AAO固定流導元件的流導值。分別以氮氣、氦氣和氬氣作為實驗氣體對AAO固定流導元件的流導進行了測量。結果表明,在大氣壓力以下,AAO固定流導元件的流導不隨入口壓力變化而變化,始終保持恒定。對He、起始壓力為30 kPa、初始壓差為1.97 kPa、測量時間為60 s的測試點進行了不確定度評定,其相對合成標準不確定度為13%。對評定過程進行分析,發現測量點的不確定度隨測量時間的增加急劇增大。該流導測量裝置的測量范圍為1×10^-4~1×10^-7 m3/s,此方法具有操作簡便、結果精確等優點。