基于機(jī)械臂力控制的玻璃基板自動(dòng)脫附

摘要：針對(duì)玻璃基板拋磨工藝中的人工上料(貼片)和下料(卸片)過(guò)程,提出一套玻璃基板自動(dòng)上下料裝置及工藝,重點(diǎn)研究其中用機(jī)械臂實(shí)現(xiàn)玻璃基板的自動(dòng)脫附過(guò)程。建立了機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)學(xué)模型,根據(jù)工藝要求規(guī)劃其運(yùn)動(dòng)軌跡。對(duì)工藝過(guò)程中絕對(duì)位置精度要求較高的點(diǎn),采用接觸力反饋的方式實(shí)現(xiàn)精確定位;針對(duì)玻璃脫附過(guò)程對(duì)操作力提出的要求,對(duì)機(jī)械臂采用力控制的方式實(shí)現(xiàn)。為節(jié)省末端的力傳感器,建立了機(jī)械臂的動(dòng)力學(xué)模型,把對(duì)末端執(zhí)行器的力的要求轉(zhuǎn)換為對(duì)關(guān)節(jié)驅(qū)動(dòng)電機(jī)的扭矩要求,再通過(guò)實(shí)驗(yàn)的方法對(duì)計(jì)算出的理論扭矩進(jìn)行補(bǔ)償修正,從而滿足工藝過(guò)程對(duì)機(jī)械臂末端執(zhí)行器在水平和垂直兩個(gè)方向上的力控制的要求。方法均通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證可實(shí)現(xiàn)玻璃基板的自動(dòng)脫附,系統(tǒng)工作過(guò)程穩(wěn)定可靠。